플라즈마 세정 솔루션
세정공정이란?

물질 표면위에 있는 오염된 이물질을 제거하는 것으로 DI Water를 사용하여 brush, 초음파와 같은 물리적인 힘 또는 UV등을 이용하여 이물 또는 particle을 제거하는 공정

플라즈마 세정

Cleaning, Activation

ArP functions Surface control

At the same time, five factor control

Electrostatic

Mist

Organic
(Residue)

Contact Angle
(Surface energy)

Particle free