プラズマ処理効果

* 製品の表面の有機汚染源を除去 – 洗浄(脱脂、酸性洗浄)効果→洗浄後の表面活性化

プラズマソリューションクリーニング

静電気除去

[process condition] Ionizer
使用装置:N₂プラズマ/1500mコンベヤ
処理装置: N₂ , Ar
処理速度: 30mm/sec
処理時間:片道1回

プラズマソリューションクリーニング

有機物除去

高速プロセス速度
安定性

コロナ効果のない前処理、および高電圧との材料接触

効率的
費用

環境に優しい
表面改質

均一プラズマ噴射による広いプロセスウィンドウ

プラズマソリューションクリーニング

活性化効果

*プラズマ処理によって表面張力が上昇する
*広い表面で均一な表面活性化が可能

プラズマソリューションクリーニング

水分除去

*ラミネート、ボンディング 強度向上
* コーティング / 印刷 / 平面化 処理後の特性の改善

異方性導電性フィルムボンディングのピール強度データ!

プラズマソリューションクリーニング

表面処理

*粗さ 変化
-プラズマ処理の前に: 1,420nm
-プラズマ処理後: 1,678nm
*cf) 原子力顕微鏡 解像度: 0.1nm

プラズマ処理を未処理:
表面の鮮明な突起

プラズマ処理:
鮮明な表面の突起