IEP シリーズ

ナノエッチング

機能

プロセス条件大気圧による表面エッチング

アプリケーション

  • A-Si
  • Poly-Si
  • SiO₂
    Si/SiO₂ Selective etching
  • SiON
  • Si₃N₄
  • PAC
  • MoTl