IEP Chuỗi

khắc Nano

nét đặc trưng

khắc bề mặt theo điều kiện áp suất khí quyển

sự áp dụng

  • A-Si
  • Poly-Si
  • SiO₂
    Si/SiO₂ Selective etching
  • SiON
  • Si₃N₄
  • PAC
  • MoTl