dữ liệu công nghệ plasma

Plasma trạng thái khí. Khí plasma rất khác so với các tính chất của khí thông thường, và các ion, electron, nguyên tử, phân tử, vv được trộn lẫn.

Plasma là một trạng thái năng lượng khí ion hóa với độ dẫn điện, và khi xử lý bề mặt, lực kết dính giữa các vật liệu…

1. Chất lượng xử lý tuyệt vời và tốc độ xử lý nhanh với Plasma trực tiếp 2. Việc sử dụng khí tương đối nhỏ, do đó giảm chi phí bảo trì.

1. Plasma Etching trong khí quyển
– SiO₂/SiON – a-Si/Graphene 2. Atmosph…..