IEP 叢書

納米蝕刻

特寫照

按工藝條件進行表面蝕刻大氣壓

申請手續

  • A-Si
  • Poly-Si
  • SiO₂
    Si/SiO₂ 選擇性蝕刻
  • SiON
  • Si₃N₄
  • PAC
  • MoTl