半導體

Fab 工程

靶場工程

  • EUV Photomask 製造工藝中的 PR Strip 工藝
  • EUV光掩模清洗
  • 晶片清洗

ArP處理工藝

  • 真空等離子PR Strip工藝替代
  • Wafer PR 曝光後 Photomask
    清洗工序
  • Wet 清洗工序

評語

  • 有機膜去除性能
  • 提高殘膜去除性能
  • Activation 提高性能

Package 工程

靶場工程

  • 晶圓直接接合

ArP處理工藝

  • 真空等離子體表面處理工藝替代

評語

  • Activation 提高性能、 節省 ROI