ArP Merits
一般仕様
プラズマヘッドユニット
ᆞ原子炉 + マッチャアッシー·ユニット
ᆞプラズマタイプ:CCP
ᆞ誘電体:石英またはセラミック
ᆞ本体: Al アルマイト化
RF発電機
ᆞ主電源:220VAC、1フェーズ、50/60Hz
ᆞ周波数:13.56Mhz
ᆞ電力範囲:300~5000w
MFC & RFケーブル
MFC
ᆞキャリアガス : Ar
ᆞプロセスガス : O₂/N₂/CDA
ケーブル
ᆞプラズマ·アサシー·ユニット ↔ RF発電機
ᆞ3~10M
製品._ARPapplasma2022-09-29T17:07:15+09:00
