IDP シリーズ

SiO₂ ナノコーティング

ナノコーティング

多様な材料をコーティングすることで、既存製品の性能、効率、工程を大幅に改善することができる。 ナノフィルムコーティング技術を利用して、多様な絶縁膜、保護膜、機能膜を形成することができる。

機能
大気圧処理ガスによるNANOコーティング(オプション)コーティング

  • 最大500mm大面積表面処理
  • 均一塗膜
  • 広域形成
  • ポリマー、無機薄膜
  • 薄膜: PMMA, SiO₂, DACH, Acrylacid
  • ナノ層薄膜:5~50nm
  • 厚さの管理が非常に簡単

アプリケーション

  • TFTデバイス用絶縁膜
  • ナノフィルム絶縁体
  • バリアナノフィルム
  • 光学フィルム
  • 炭素繊維ヒーター
  • マイクロレンズ
  • LEDパッケージ
  • フォトマスク
  • RFIDデバイス