ArPナノコーティング?

“0.5~50nm”
ナノ層薄膜コーティング技術
大気状態でのAPPArプラズマの使用
  • Nano coatingに特化したプラズマ反応器技術
  • Nano coatingに特化したプラズマ工程技術
  • 20年のノウハウ

ガス源

O₂, N₂, CO₂, CF₄, H2, C2F6, C4F8, CH4, C2H2, C2H4,…

超疎水性

疎水性 / 親水性パターニング

DLC コーティング

インクジェット印刷

治療なし

疎水性コーティング

ナノインプリント(UVNIL)

6 ズーム