プラズマ増強化学蒸着

プラズマを用いて基質上に他の材料を基板に蒸発させること

低温

速い速度

柔軟性

プラズマ溶解堆積

堆積

O₂ ガス ( 標準立方センチマ/分 )
05102040
バブル
アルゴン ( 標準立方センチマ/分 )
2001回2回
4003回4回5回6回
[process condition] イオン化剤
使用装置: N₂ プラズマ / 1500mコンベヤ
処理装置: N2、Argon
処理速度:30mm / sec
処理時間: 片道 1回

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