ArP 系列組成
一般規格
特寫照
- 易於安裝在現有設備上，如清洗、檢查和層壓用途
構圖
- 等離子體頭單元
- 射頻功率發生器
- MFC
- RF Cable
等離子體頭單元
ᆞ反應堆+匹配輔助股
ᆞ等離子體類型:CCP
ᆞ電介質:石英或陶瓷
ᆞ主體:陽極氧化鋁
射頻功率發生器
ᆞ主電源:220VAC,1相,50/60Hz
ᆞ頻率:13.56Mhz
ᆞ功率範圍:300~5000黃頁
MFC及射頻電纜
MFC
ᆞ載氣:Ar
ᆞ過程氣體 : O₂/N₂/CDA
電纜
ᆞ等離子體輔助裝置↔射頻功率發生器
ᆞ3~10M
