等离子体表面处理

等离子体气体状态。 等离子体气体与普通气体的性质非常不同,离子,电子,原子,分子等混合在一起。
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大气等离子体

等离子体是指具有电导性的电离气体能量状态,如果表面处理,材料之间的粘合力…
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技术的差别

1. 处理质量优异,处理速度快,直接等离子体 2. 气体使用量相对较少,以降低维护成本。
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功能等离子体处理

1. 大气等离子体蚀刻
– SiO₂/SiON – a-Si/Graphene 2. Atmosph…..
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