ArP Merits
一般仕様
![head](https://www.applasma.com/wp-content/uploads/2022/06/head.jpg)
プラズマヘッドユニット
ᆞ原子炉 + マッチャアッシー·ユニット
ᆞプラズマタイプ:CCP
ᆞ誘電体:石英またはセラミック
ᆞ本体: Al アルマイト化
![power](https://www.applasma.com/wp-content/uploads/2022/06/power-1.jpg)
RF発電機
ᆞ主電源:220VAC、1フェーズ、50/60Hz
ᆞ周波数:13.56Mhz
ᆞ電力範囲:300~5000w
![ArP_MFC_2](https://www.applasma.com/wp-content/uploads/2022/09/ArP_MFC_2.png)
MFC & RFケーブル
MFC
ᆞキャリアガス : Ar
ᆞプロセスガス : O₂/N₂/CDA
ケーブル
ᆞプラズマ·アサシー·ユニット ↔ RF発電機
ᆞ3~10M