에이피피(대표 강방권)는 눈으로 플라즈마 발생을 직접 확인할 수 있는 대기압 N2 저온 플라즈마 장비 신제품을 개발했다. 눈에 보이는 플라즈마 장비는 공정 과정을 실시간으로 볼 수 있기 때문에 공정 불량률을 크게 낮출 것으로 기대를 모은다.

기존 기술은 플라즈마 빔을 볼 수 없다. 플라즈마가 잘 동작하는지 여부를 눈으로 확인할 수 없는 셈이다. 이런 이유로 플라즈마 처리에 문제가 생겨도 확인이 불가능, 프로세스 불량 확률이 높았다.

<에이피피가 개발한 대기압 N2 플라즈마 (사진=에이피피)>

 에이피피 플라즈마 장비는 눈으로 쉽게 플라즈마를 확인할 수 있기 때문에 공정 안정성을 확보할 수 있다.

플라즈마 빔이 10㎜ 이상 길게 뿜어져 나와 3D 형상 제품도 쉽게 처리할 수 있다. 가스 소모량은 기존 방식보다 절반 이상 줄일 수 있어 운용비가 적게 든다.

에이피피 장비는 최근 스마트폰 라미네이션 공정 등에 적용됐다. 3D 형상이나 처리 높이 등 제약 때문에 플라즈마 처리가 어려운 부품, 소재, 의료 분야에 효과가 있다. 특히 굴곡이 큰 스마트폰 3D 형상 라미네이션 등에서 수요가 많이 나올 것으로 에이피피는 내다봤다.

에이피피는 이번 기술을 ‘가시성 있는 플라즈마 발생 장치’라는 이름으로 특허 등록했다.

에이피피는 별도의 진공 처리 없이 대기압 상태에서 플라즈마를 발생시켜 공정을 처리할 수 있는 대기압 플라즈마 장비를 전문으로 개발한다. 상온에서 플라즈마를 발생시키기 때문에 별도의 진공 장비가 필요 없다. 기술 난도가 높은 진공 장비를 별도로 갖출 필요가 없어 생산라인 공간과 장비 구매비용을 줄일 수 있다. 전체 디스플레이 생산 공정 단계가 짧아지면서 생산에 드는 비용과 시간도 줄일 수 있다.

에이피피는 대기압 플라즈마 저변을 확대하고 있다. 그동안 반도체와 디스플레이 세정 공정에 주로 이용됐지만 식각 등 분야로 응용 분야를 넓히고 있다.