APP プラズマ 表面処理

APPのアロンガスを基盤としたRFプラズマの工程開発を通じて、先端研究·量産分野に高品質のソリューションを多く開発·供給してきた。 APPは超微細洗浄、ナノフィールドエッチング、蒸着、革新素材などにより多くの機能を投資し、工程技術を開発している。

ArP シリーズ

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プラズマヘッドユニット

RF発電機

RFケーブルおよびMFC

MyPL シリーズ

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Full Auto 300

MyPL Auto 300

ILP シリーズ

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ILP 1500R

ILP-500C