プラズマ技術データ

プラズマはガス状態です。 プラズマガスは、一般的なガスの性質と非常に異なり、イオン、電子、原子、分子などが混在される。

プラズマとは、電気伝導性を持つイオン化されたガスのエネルギー状態をいい、表面処理をすると、物質間の接着力。

1.処理品質は直接プラズマに優れ,処理速度は速い 2.ガス使用量が比較的少なく、維持コストの削減…

1.大気プラズマエッチング
– SiO₂/SiON – a-Si/Graphene 2. Atmosph…..