Ar プラズマ モジュール
Ar プラズマ 装備
Ar プラズマ 研究

モジュール

原子炉(ヘッド)

概要

ArP プラズマヘッド

特徴
  • カスタマイズされた

無線周波数発電機

概要

ArP プラズマ 無線周波数 力 発電機

特徴
  • Arc 検出
  • 安定性
  • アーシングフリー
  • プラズマ密度値をチェックすることができます

無線周波数マッチャー

概要

ArP プラズマ 無線周波数マッチャー

特徴
  • 特別な設計の制御プログラムで任意の種類の無線周波数電力で動作することができる
  • 安定性
  • カスタマイズされた

マスフローコントローラ

概要

ArP プラズマ マスフローコントローラ

特徴
  • 安定性が向上
  • 高い精度と再現性
  • 迅速な対応

モジュール オプション

コントロールボックス

概要

ArP プラズマモジュールオプション制御ボックス

特徴
  • カスタマイズされた
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