IDP シリーズ
SiO₂ ナノコーティング
ナノコーティング
多様な材料をコーティングすることで、既存製品の性能、効率、工程を大幅に改善することができる。 ナノフィルムコーティング技術を利用して、多様な絶縁膜、保護膜、機能膜を形成することができる。
機能
大気圧処理ガスによるNANOコーティング（オプション）コーティング
- 最大500mm大面積表面処理
- 均一塗膜
- 広域形成
- ポリマー、無機薄膜
- 薄膜: PMMA, SiO₂, DACH, Acrylacid
- ナノ層薄膜:5~50nm
- 厚さの管理が非常に簡単
アプリケーション
- TFTデバイス用絶縁膜
- ナノフィルム絶縁体
- バリアナノフィルム
- 光学フィルム
- 炭素繊維ヒーター
- マイクロレンズ
- LEDパッケージ
- フォトマスク
- RFIDデバイス
