플라즈마 기술자료

플라즈마는 가스상태이다. 플라즈마 가스는 일반적인 가스의 성질과 매우 다르며 이온, 전자, 원자, 분자등이 혼재되…..

플라즈마란 전기 전도성을 가진 이온화된 기체 에너지 상태를 말하며, 표면처리를 하면 물질간의 접착력…..

1. Direct Plasma로 처리품질이 우수하고 처리속도가 빠름 2. 가스 사용량이 상대적으로 적어 유지비용 절감…..

1. Atmospheric Plasma Etching
– SiO₂/SiON    – a-Si/Graphene 2. Atmosph…..