플라즈마 세정 솔루션 세정공정이란?

물질 표면위에 있는 오염된 이물질을 제거하는 것으로 DI Water를 사용하여 brush, 초음파와 같은 물리적인 힘 또는 UV등을 이용하여 이물 또는 particle을 제거하는 공정