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플라즈마 기술자료
플라즈마 표면처리
플라즈마는 가스상태이다. 플라즈마 가스는 일반적인 가스의 성질과 매우 다르며 이온, 전자, 원자, 분자등이 혼재되…..
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대기의 플라즈마
플라즈마란 전기 전도성을 가진 이온화된 기체 에너지 상태를 말하며, 표면처리를 하면 물질간의 접착력…..
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기술의 차별성
1. Direct Plasma로 처리품질이 우수하고 처리속도가 빠름 2. 가스 사용량이 상대적으로 적어 유지비용 절감…..
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기능성 플라즈마 처리
1. Atmospheric Plasma Etching
– SiO
2
/SiON – a-Si/Graphene 2. Atmosph…..
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