보도자료

제목2014.08.12 대기압 플라즈마 에칭 시스템 개발 … LGD에 첫 공급2021-03-12 14:31
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국내 중소기업이 대기압 플라즈마를 이용한 디스플레이 무기막(SION박막) 에칭 시스템을 개발했다. 진공 플라즈마 방식을 비롯한 기존 에칭 시스템에 비해 수율을 크게 높여주는 것은 물론이고 에칭 비용도 획기적으로 줄일 수 있어 주목된다.


에이피피가 개발한 디스플레이 무기막(SION박막) 에칭 시스템.

대기압 플라즈마 장비 전문업체인 에이피피(대표 강방권)는 최근 대기압 플라즈마를 이용한 에칭 솔루션을 개발, LG디스플레이에 유기발광다이오드(OLEDTV 생산라인용 모듈로 공급했다고 11일 밝혔다.

디스플레이 분야에 대기압 플라즈마를 이용한 에칭 솔루션을 공급한 것은 이번이 처음이다. 에이피피는 이를 계기로 그동안 클리닝 분야에 주로 사용해 온 대기압 플라즈마 장비가 코팅 분야에 이어 에칭과 기능성처리 등 다양한 분야로 사용 영역을 확대해 나갈 수 있을 것으로 기대했다.

이 회사가 개발한 OLED TV용 대기압 플라즈마 에칭 시스템은 OLED를 제조하는데 필요한 무기막을 초당 수백옹스트롱(Å)까지 제거할 수 있다.

대기압 상태에서 플라즈마를 발생시키고 여기에 에칭가스를 넣어 플라즈마에 노출되는 무기막을 기화시켜 없애는 원리를 이용했다. 무기막은 절연 및 수분침투 방지를 위해 적층하는 막이다. 이 방식은 상온에서 플라즈마를 발생하기 때문에 생산비용을 기존 진공 방식에 비해 크게 절감할 수 있다. 뿐만 아니라 수율도 5~6%가량 높여준다. 미세가공 공정에 활용하면 비용절감은 물론이고 제조공정을 단순화 해 생산성을 크게 높여주는 효과도 거둘 수 있다.

회사 측은 현재 초당 1000Å 이상 에칭할 수 있는 대기압 플라즈마 에처를 추가로 개발, 내년 1분기 중에 출시할 예정이다. 이 장비는 실리콘옥사이드·실리콘나이트라이드 등 무기막 에칭에 특화해 디스플레이 분야를 비롯해 글래스, 반도체, MEMS 등에도 활용할 예정이다.

에이피피는 이 제품을 별도 독립된 장비로 상품화해 국내외 디스플레이·반도체 업체에 공급할 계획이다.

강방권 에이피피 사장은 “LG디스플레이에 초도물량을 공급함으로써 품질은 인정받은 셈”이라며 “대기압 플라즈마 장비를 디스플레이 및 반도체 분야로 확산할 수 있는 가능성을 열었다”고 자신했다.

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