플라즈마 세정 솔루션 세정공정이란?
물질 표면위에 있는 오염된 이물질을 제거하는 것으로 DI Water를 사용하여 brush, 초음파와 같은 물리적인 힘 또는 UV등을 이용하여 이물 또는 particle을 제거하는 공정
플라즈마 세정
Cleaning, Activation
ArP functions Surface control
At the same time, five factor control
물질 표면위에 있는 오염된 이물질을 제거하는 것으로 DI Water를 사용하여 brush, 초음파와 같은 물리적인 힘 또는 UV등을 이용하여 이물 또는 particle을 제거하는 공정