에이피피(대표 강방권)는 상하이 뉴인터내셔널 엑스포 센터에서 15일부터 20일까지 엿새간 열리는 ‘FPD 차이나(CHINA) 2016’에 참가해 자체 개발한 대기압 플라즈마 장비를 선보인다고 13일 밝혔다.

<휴대형 플라즈마 장비 ‘플라미’>

<에이피피가 ‘FPD차이나2016’에 출품하는 대면적 세정용 대기압 플라즈마 장비>

세계적 디스플레이 전시회인 ‘FPD 차이나’는 지난해 130개 기업이 참가, 320여 부스 규모로 운영됐다. 참관객은 5만3900명이었다. 올해는 6만여명에 달할 전망이다.

지난해에 이어 올해 두 번째 참가하는 에이피피는 휴대가 가능한 초소형 플라즈마와 이물질(파티클) 발생이 없는 OLED 세정 플라즈마 등 다양한 대기압 플라즈마 장비를 전시, 중국 시장 공략에 속도를 낸다.

주목받는 장비 중 하나는 무게 10kg 정도로 휴대가 가능한 대기압 플라즈마 장비 ‘플라미(plami)’다. 디스플레이와 휴대폰, PCB 제조공정에서 본딩과 코팅, 인쇄, 합지(필름과 필름을 붙힘) 작업 전에 표면을 깨끗이 하는 데 사용한다. 알코올을 사용한 기존 습식 세정과 달리 플라즈마를 활용한 건식 세정이다. 대기압에서 플라즈마를 발생시켜 소재 표면에 이를 조사(照査), 표면에 있는 이물질(유기물)을 제거한다.

무게가 10㎏ 정도여서 기존 플라즈마 장비와 달리 휴대할 수 있다. 생산라인에 있는 각종 시스템에 쉽게 부착할 수 있는 게 장점이다. 전원과 가스를 간단히 연결해 플라즈마를 발생시킨다. 실험실은 물론 양산 시설에서도 사용할 수 있다.

에이피피는 OLED 세정용 대면적(10.5세대) 아르곤 대기압 플라즈마 장비도 선보인다. 기존에는 금속(메탈)막과 무기막에 있는 이물질을 제거하기 위해 진공에서만 플라즈마를 발생시켰는데 에이피피 장비는 대기압에서도 플라즈마를 발생시켜 이물질을 제거한다.

에이피피는 “기존 플라즈마는 고전압을 사용해 스퍼터링에 따른 전극 손상으로 파티클이 발생했다”며 “우리 장비는 저전력 아르곤 글로(glow) 방전을 사용해 기존 N₂플라즈마에 비해 파티클 발생을 크게 줄였다”고 설명했다. 연성PCB와 OLED, LCD 공정에 적용할 수 있다.

강방권 에이피피 대표는 “패널 세정 뿐만 아니라 본딩력(인장력 및 접합력)을 증대할 목적으로 모바일 양산 공정에도 우리 장비가 다수 적용됐다”고 밝혔다.

에이피피는 코팅 장비도 선보였다. 산화막(SiOx) 코팅과 소수성 증착, 폴리머라이제이션(polymerization) 등 대기압 플라즈마로 다양한 막을 코팅할 수 있다.

강 대표는 “오래 기다리지 않고 빠른 시간에 실험 방향을 정하고 결과를 확인할 수 있어 고객 만족도가 높다”면서 “우리 대기압 플라즈마를 사용하면 다양한 코팅과 실험을 경험할 수 있다”고 설명했다.

에이피피는 이들 장비를 중국 외에 일본, 인도 시장에도 수출할 계획이다. 이를 위해 다음 달 일본에서 열리는 필름 전시회와 5월 인도 뭄바이에서 열리는 우수상품전시회에 참가한다. 미국과 유럽에서 열리는 전시회 참가도 계획하고 있다.