휴대하기 쉬운 이동형 대기압 플라즈마 장비가 나온다.

에이피피(대표 강방권)는 무게 10kg 정도로 이동성이 좋은 대기압 플라즈마 장비 ‘플라미(plami)’를 개발해 이달 출시한다고 4일 밝혔다. 에이피피는 “10㎏대 대기압 플라즈마 장비를 개발한 건 국내 처음”이라며 “진공 플라즈마 품질을 구현했다”고 강조했다

<에이피피 연구원이 플라즈마 전극을 손으로 잡고 표면 처리 하고 있는 모습>

‘플라미’는 대기압 플라즈마 표면처리 장비다. 디스플레이·휴대폰·PCB 제조공정에서 본딩과 코팅, 인쇄, 합지(필름과 필름을 붙힘) 작업 전에 표면을 깨끗하게 하는 데 사용한다. 알코올을 사용한 기존 습식 세정과 달리 플라즈마를 활용한 건식 세정이다. 아르곤(Ar)과 헬륨(He), 산소(O2)를 사용해 대기압에서 플라즈마를 발생해 소재 표면에 조사(照査), 표면 유기물을 제거한다. 인쇄성과 부착성 향상을 위해 표면을 친수(親水) 상태로 만들어준다. 처리 가능한 소재는 플라스틱, 금속, 유리, 도자기, 혼합 재료 등 제한이 거의 없다.

플라미 외관은 △RF 제너레이너 △가스 유틸리티 △스테이지(Stage) △플라즈마 헤드 네 가지 유닛으로 구성됐다. 무게가 10kg 정도여서 기존 플라즈마 장비와 달리 이동성이 좋다. 생산라인에 있는 각종 시스템에 쉽게 부착할 수 있는 것도 장점이다.

강방권 에이피피 대표는 “대부분 플라즈마 장비는 매우 크고 무거운데 플라미는 무게를 최소화해 휴대할 수 있게 했다”며 “타 플라즈마 장비와 달리 챔버와 진공펌프, 부대 설비가 별도로 필요없는 것도 눈여겨 볼 점”이라고 덧붙였다.

플라미는 헤드(전극)와 파워(매처) 간 거리를 5m 이상으로 늘려 작업물을 손으로 잡고 작업할 수 있게 했다. 기존 플라즈마는 헤드와 파워 간 거리가 2m가 안돼 손으로 잡고 작업하는 것이 힘들었다. 강 대표는 “‘플라미’는 휴대성이 좋을 뿐 아니라 RF케이블을 장착해 거리제약 없이 손으로 잡고 플라즈마 작업이 가능하다”면서 “직접 조사하는 방식을 사용해도 오존과 질소산화물이 발생하지 않기 때문에 안심하고 사용할 수 있다”고 말했다.

에이피피는 플라미를 △데모 시연용 △대리점용 △연구용 △양산용으로 나눠 생산한다. 휴대성 등 여러 기능이 호응을 얻어 플라미는 정식 출시 전인 지난달 미국과 싱가포르 수출을 확정했다. 강 대표는 “오는 3월 중국에서 열리는 전시회에 플라미를 출품하는 등 내수는 물론이고 미국, 중국 등 해외 수출에도 적극 나서겠다”고 밝혔다.