ArP Cấu hình dãy
Đặc tả chung
nét đặc trưng
- Dễ dàng cài đặt trên các thiết bị hiện có như làm sạch, kiểm tra và mục đích laminate
cấu tạo
- Đơn vị đầu plasma
- Máy phát điện RF
- MFC
- Cáp RF


Đơn vị đầu plasma
ᆞLò phản ứng + Đơn vị chiếu sáng Ass’y
ᆞKiểu plasma : CCP
ᆞDi truyền : Quartz hoặc ceramic
ᆞCơ thể chính : Anode hoá

Máy phát điện RF
ᆞCông suất chính : 220 VAC, 1 pha, 50/60 Hz
ᆞTần số : 13.56Mhz
ᆞPhạm vi quyền lực: 300 đến 5000W

MFC & Cáp RF
MFC
ᆞKhí mang : Ar
ᆞKhí đốt gia công : O₂/N₂/CDA
dây cáp
ᆞĐơn vị Plasma Ass’y ↔ Máy phát điện RF
ᆞ3~10M